核心技术离子束辅助沉积和脉冲激光沉积技术
REBCO超导靶材

靶材的成分配比对超导带材的载流性能起到决定性的影响。随着强磁场应用需求不断增加,

超导靶材需引入多相,同时满足大尺寸、高密度、高纯度以及高均匀性等要求。

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超导靶材与激光相互作用的示意图


公司基于自身工艺特点,研发定制化靶材成分配比,制备高纯度、高均匀性、高颗粒精度的REBCO粉末。

通过粉末热压成型工艺,制成符合镀膜工艺尺寸要求的靶坯。

再通过烧结过程,以进一步提高其密度和结晶性。后续经过抛光、退火等后处理方式改善表面状态和内部微观结构。


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指标

尺寸

密度

镀膜Jc

国产

6~10寸

约5.8

约1.5MA/cm2

进口

12寸以下

约5.5

约1.5MA/cm2


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