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核心技术离子束辅助沉积和脉冲激光沉积技术
离子束辅助沉积工艺

在IBAD工艺过程中，沉积的非择优取向的MgO晶粒能够被特定角度的离子轰击掉，从而实现无序金属基带结构向有序晶体结构的转变。

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